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石英管的选用

发布时间:2023-12-03 529人看过

 闭管扩散要用石英管,这是由于石英管能耐1250℃左右的高温,而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘,能做成所需要的形状。另一方面,由于石英管采用的原料是特级水晶石,纯度高,含有害的杂质很少,对于扩散、配制合金等能保证质量,因此闭管扩散常采用石英管。
石英管的制备:根据扩散硅片直径的不同,来选择石英管的内径、壁厚等参数

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